シミュレーション環境 混相流解析専用超並列クラスタ計算システム 実験環境 極低温ファイン固体粒子噴霧を用いたナノデバイスクリーニング装置 Nano device cleaning using cryogenic fine solid particulate spray 実験装置や高速度カメラ、レーザー